Nghiên cứu cơ chế phá hủy và dự đoán tuổi thọ mỏi của cấu trúc Silic ở kích cỡ micro trong các hệ thống vi cơ điện tử

2/13/2019 10:42 AM
Các hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) là các thiết bị với các thành phần cơ khí và điện tử được tích hợp trên cùng một tấm nền bằng các kỹ thuật công nghệ cao, là một trong những công nghệ phát triển nhanh nhất trên thế giới. MEMS thực sự đã được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau chẳng hạn như các thiết bị y tế, hàng không, vũ trụ, … , ở đó độ tin cậy của các kết cấu trong MEMS cần được quan tâm nghiêm túc. Độ tin cậy cơ học của các kết cấu MEMS gần đây đã ngày càng trở nên hấp dẫn, thu hút sự chú ý của các nhà nghiên cứu.